报告重点 1) 喷墨制程之模拟分析概论 2) 薄膜结构与相邻流体之间的热分析细节设定 3)均匀热气泡模型的详细结果说明 4) 喷嘴设计的验证(包含了 chamber structure, reservoir, 以及 nozzle) 5)液滴生成模拟 6) 结论 一 喷墨制程的模拟分析 1.研究分析软件采用 FLOW-3D 商业版本。 2.分析时采用简化的轴对称流体模型仿真典型的热气泡喷墨制程机构 3.在 0~1μs 之间,施加能量于位在流体下方的薄膜堆栈电阻加热机构。 4.大约在 1 μs 时,与加热机构相邻的流体达到过热温度限制,并且开始形成气泡。 5.气泡迅速膨胀,驱动流体通过相邻的孔洞,喷出液滴。 6.气泡继续扩大,当薄膜层不足以支撑气泡形成时,气泡就会破裂。 Fig1. 喷墨过程的模拟 (FLOW-3D)
二 . 薄膜结构与相邻流体之间的热分析细节设定
三 . 均匀热气泡模型的特征 当气泡开始形成时,流固界面温度达到预定的过热温度限制 。 假设气泡为均匀的,并且为理想气体 (equation-of-state) ,可由 Clapeyron 方程式描述的相变化饱和压力 加以说明。通过流体 / 蒸汽边界的质量流率可由动量定律求解而得。
Fig2. 均匀热气泡的形成( FLOW-3D )
四 . 实验验证 Fig3. Open Pool 实验( 2003 年完成 , 感谢 Dr. David Trauernicht 提供此实验照片 )
Fig4. Open Pool 模拟( FLOW-3D )
Ejector 设计的考虑重点
输出特征: 1) Drop Volume and Velocity 2) Drop Quality 3) Maximum Firing Frequency 关键设计参数: 1) Chamber Height 2) Nozzle Plate Thickness 3) Nozzle Shape 4) Reservoir Impedance 5) Heater Size
五 . 液滴生成模拟
之前的模拟与结果对照( circa 2002, 分析结果与实验比对相当合理)
感谢 Dr. David Trauernicht 提供此实验照片 六 . 结论 1) FLOW-3D 提供柯达 (Kodak) 相当完善的技术支持以及相关的研究协助,并且能够在有限的时间内提供相 当可靠的研究数据。 2) FLOW-3D 的 VOF 技术证明了分析预测的模拟结果与真正的实验相比非常吻合。
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